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氮化硅设备

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氮化硅粉末的制造方法及设备一种氮化硅粉末的制造方法的设备,本发明的方法是用SiCl-[4]和液氨在有机溶剂界面上发生反应生成硅亚胺,然后将其加热分解制得Si-[3]N-[4]粉末。通过反应器、喷淋洗涤器、旋。

蚀刻氮化硅薄膜的设备及方法名称:蚀刻氮化硅薄膜的设备及方法技术领域:本发明涉及一种蚀刻的设备及方法,特别是涉及一种蚀刻氮化硅薄膜(Siliconnitridefilm)的设备及方法。背景技术:在半。

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刻蚀设备和氮化硅的刻蚀方法名称:刻蚀设备和氮化硅的刻蚀方法技术领域:本发明涉及半导体制造领域,特别涉及刻蚀设备和氮化硅的刻蚀方法。背景技术:等离子体刻蚀(也称干法刻蚀)是集成电。

氮化硅制备方法|生产方法一种制造高纯度超细氮化硅的方法及设备130、一种自增强氮化硅陶瓷体及其制备方法131、移除氮化硅层的方法132、以氮化硅镁为烧结助剂的高热导氮化硅陶瓷的制备方法133。

氮化硅的生产设备氮化硅及其制品生产--机械设备--招商项目--中国融资氮化硅及其制品生产阅读次数:1115次所属行业机械设备所在地区福建合作方式独资主要内容氮化硅及其制品。

氮化硅系列破碎设备_一路发发B2B电子商务平台氮化硅系列破碎设备氮化硅是一种重要的结构陶瓷材料。氮化硅的强度很高,尤其是热压氮化硅,是世界上*坚硬的物质之一。它极耐高温,强度一直可以维持到1200℃的高温而。

氮化硅粉末的制造方法及设备|行业新闻-安阳市恒泰氮化科技一种用四氯化硅与液氨在有机溶剂界面反应生成硅亚胺,然后将其加热分解制得氮化硅粉末的方法及设备,其特征在于通过如下步骤连续进行:(a)硅亚胺的合成:在装有搅拌器。

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