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硅粉制备设备

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一种多孔硅粉的制备方法与流程本发明涉及多孔纳米功能材料制备领域,具体涉及一种多孔硅粉的制备方法。背景技术:早在1956年时,美国贝尔实验室Uhlir发现并报道了通过电化学腐蚀法可以形成多孔硅。

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