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碳化硅晶体生长工艺及设备-西安理工大学技术研究院已在碳化硅晶体生长设备、生长工艺、热场模拟分析、碳化硅材料表征、晶片加工等方面积累了丰富的研发经验，获批相关5项，待批3项。应用范围1、电力电子器件制造。