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氮化硅技术氮化硅技术工艺超薄氮化硅或氧化硅栅极介电层的制造方法7、超细氮化硅微粉气相合成工艺8、除去氮化硅膜的方法9、从氧化硅膜选择蚀刻氮化硅膜的方法10、带消音装置的氮化硅发热装置。

超细氮化硅生产技术工艺发展路径及商业应用前景咨询报告国内外超细。工艺设备配套、技术应用等多方面的信息，对于企业了解各类超细氮化硅产品生产技术及其发展状况十分有益。本报告商业应用前景部分从超细氮化硅的应用领域、下游产品、。

氮化硅陶瓷及其制备工艺的制作方法名称：氮化硅陶瓷及其制备工艺的制作方法技术领域：本发明涉及用于制备Si3N4陶瓷的淤浆状硅基组合物，它含有水作为分散介质。而且，本发明涉及从上述淤浆状硅基组。

氧化烧结Si3N4-SiC复合材料的制备工艺及性能研究_苗立锋_氮化硅结。氮化硅结合碳化硅是国内近20年发展起来的一种高科技SiC耐火材料。但目前高的生产成本限制了其快速发展，成为该行业发展的瓶颈。为此，本论文借鉴“逆反应烧结”理论研究。

制备工艺与氮化硅显微结构及性能相关性.pdf-毕业论文-文档投稿赚钱网关键词制备工艺；自增韧氮化硅：致密化；显微结构；烧结助剂；晶须Ⅱ一13相变；机械J11212：性能；线速度11西北工业大学工学硕士学位论文AbstractThein—situisanew。