脉冲等离子体钻机
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液相中脉冲放电等离子体电源液相中脉冲放电等离子体电源本实用新型公开了一种液相中脉冲放电等离子体电源,包括脉冲电源控制器、脉冲放电电容和依次相连的AC/AC开关充电电路、升压变压器、全桥整。
液相放电等离子体脉冲电源设计.pdf气体放电等离子体脉冲电源研究较为成熟;但对液体放电等离子体脉冲电源的研究相对较少;另外,现有的等离子体脉冲电源大多针对较大间隙电极结构,对可在小间隙电极结构。
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脉冲等离子体式离子注入机脉冲等离子体式离子注入机本发明涉及离子注入机IMP,包括脉冲等离子体源SPL、衬底支承台PPS和所述台的电源ALT。所述注入机还包括电容C,所述电容直接接地E且安装于所。
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